张以忱

东北大学教授、博士生导师、《真空》杂志副主编、国家真空标准化技术委员会委员、国家真空技术装备工程实验室技术委员会委员、中国真空设备行业协会标准化技术委员会主任委员。主持的主要科研项目有：《离子注入形成单晶薄膜机理研究》、《ZDB真空镀膜玻璃镀膜设备及工艺开发》、《增强等离子体真空镀膜设备开发》、《ZJB-600c型罗茨真空泵开发》、《DRCT 型高效真空热风空调系统开发》、《高压电磁及超声复合场水处理技术研究》、《大型平面磁控溅射靶膜层均匀性及其仿真设计系统开发》等项目。